精密溫控、高溫冷卻、各種信號輸入輸出。冷卻能力系列之中，有風冷式/水冷式兩種類型

主要用途
半導體制造裝置的溫度管理

主要特點
溫度范圍廣，溫控精度±0.5℃
溫度控制范圍-10℃～+70℃，制冷器連續運轉、通過控制加熱器進行溫度調節，實現高精度、高穩定性的恒溫水循環。
齊全的信號系統和安全裝置
可遠程溫度設定和溫度監視，齊全的安全裝置可實現操作信號的輸出。
高溫冷卻功能
在使用溫度范圍內，由于冷凍機的連續運轉，可實現高溫冷卻功能。
所謂高溫冷卻：例如冷卻對象需要溫度維持在+80℃，但回流的循環液溫高于+80℃，此時就需要通過本機進行高溫冷卻使循環液溫降到+80℃在流入冷卻對象。


技術參數

型號	CH-802BF
使用溫度范圍	＋10℃～＋70℃（使用環境溫度范圍+5℃～+35℃）(*1)
溫度調節精度	加熱器PID控制、±0.5℃(*2)
冷卻能力(50Hz時)	約1.9kW(*3)
冷凍機功率	水冷式、750W
加熱器功率	3kW
溫度設定?表示	數顯式(設定溫度/槽內溫度切換顯示)
安全器／安全功能	漏電/過電流斷路器、高低溫、冷凍機異常報警、泵異常運轉報警、溫度傳感器異常診斷、液體補充警報、防止空燒、反相繼電器
其他功能	溫度監測器、遠程溫度設定、安全器啟動信號燈、外部溫度傳感器(*4)
水槽容量（80%水位)	約26L(*5)
適用的泵	P-32E、P-42、P-42 SUS仕様
所要一次冷卻水量	+25℃的冷卻水：7.5L/mim +34℃的冷卻水：18L/min
一次冷卻水連接口徑	Rc1/2
外形尺寸(水泵)	407×590×771Hmm
重量(水泵)	約90kg
電源(水泵)	三相AC200V?50/60Hz 15A
運轉電流(水泵)	14A
標準附件	電源線、排水用橡膠軟管、信號連接器

(*1)在+7℃以下使用本機時，請務必使用防凍液（具體類型請咨詢我司）。
(*2)使用熱載體、使用環境溫度、熱負荷循環配管距離等因素可能會影響溫度性能的維持。
(*3)數據為使用清水做為循環液且液溫在+10℃、裝置單機時的冷卻能力。根據所搭載的泵的不同，冷卻能力也會有變動。另外當使用環境溫度達到+30℃時冷卻能力會下降。
(*4)外部溫度傳感器需另購，敬請注意（φ4x250mm）。
(*5)本機為非封閉式構造，因設定溫度、熱載體種類不同，會發生使用液體會有蒸發、減少現象。